煙氣深度凈化裝置的工作原理與傳統靜電除塵器類似，都是利用高壓電場使煙氣發生電離，氣流中的粉塵荷電并在電場作用下與氣流分離。兩者不同的是柔性電極煙氣深度凈化裝置處理的是脫硫后的濕煙氣，采用液膜清灰方式。與傳統干式電除塵器相比，柔性電極煙氣深度凈化裝置具有以下優點：

一、電暈電流大，荷電效果好，微細粉塵去除率高。傳統靜電除塵器只對比電阻在一定范圍內的粉塵有良好的去除率，當粉塵比電阻超過一定范圍時，粉塵的去除率急劇下降，甚至喪失脫除能力。柔性電極煙氣深度凈化裝置處理的是飽和濕煙氣，塵粒荷電性能好，電暈電流大，對濕煙氣中的粉塵比電阻沒有要求，特別適用于脫除濕煙氣中的細顆粒物及氣溶膠。

二、柔性陽極耐腐蝕性能好，陽極液膜分布均勻，依靠收集液重力自流完成自身沖洗清灰，正常運行中無噴淋用水量。

三、除塵效率高，并可脫除水霧。由于采用水膜清灰機理，沒有二次揚塵等問題，濕環境的電離效率高。測試結果表明：煙氣流經柔性電極煙氣深度凈化裝置后煙氣中總顆粒物濃度穩定低于20mg /m3，液滴含量穩定低于20mg/m3，煙羽林格曼黑度等級小于1，滿足新標要求，并可解決濕法脫硫形成的“石膏雨”問題。

四、煙氣深度凈化裝置結構緊湊，煙氣垂直進出可以減少占地面積，適合于場地受限制的改造工程。

近年來，對于環境保護日益重視，濕式靜電除塵器在脫硫濕煙氣深度凈化中開始突出其顯著的優勢，但是煙氣深度凈化技術仍處于初期發展階段。相信隨著市場的逐步穩定及國產技術的逐步成熟，濕式靜電除塵器將成為燃煤電廠針對尾端煙氣進行深度凈化處理的技術之一。